[11p-B5-1~9] 最先端CMOS技術とその将来展望

[11p-B5-2] 3次元構造デバイスにおけるプラズマダメージ層形成モデル

〇江利口 浩二¹、斧 高一¹ (1.京大院工)

キーワード：半導体、プラズマ、欠陥