[12a-A21-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[12a-A21-4] 界面顕微光応答法を用いたイオン注入n - G a N ショットキー接触の２次元評価

〇山本 晋吾¹、村瀬 真悟¹、田中 丈士^{1, 2}、三島 友義²、中村 徹³、塩島 謙次¹ (1.福井大院工, 2.日立金属, 3.法政大)

キーワード：顕微光応答法、ショットキー接触、窒化ガリウム