[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-A18-18] IV族半導体結晶におけるクラスタや混晶系の対称性を考慮した原子配置作成プログラムとその適用

〇末岡 浩治¹、松谷 亮¹、白澤 渉¹、神山 栄治^{1, 2}、泉妻 宏治²、鹿島 一日児²、中塚 理³ (1.岡山県大情報工, 2.グローバルウェーハズ, 3.名大院工)

キーワード：半導体結晶、原子配置、対称性