[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング

△ [13a-B9-7] ITO炭化水素プラズマエッチングにおける水素イオン照射の化学的効果

〇李 虎¹、唐橋 一浩¹、深沢 正永²、長畑 和典²、辰巳 哲也²、浜口 智志¹ (1.阪大院工、2.ソニー)

キーワード：透明電極材料、エッチング、水素

光電子バイスの微細化の発展とともに、ナノワイヤー電極が求められいる。光電子バイスの透明電極材料として金属酸化物のITO やZnO が広く使用されており、更なる微細化を実現するためにエッチング反応機構の解明が必要となる。CH_x系反応性プラズマを用いたエッチング反応において、エッチング促進効果はCHxイオンに含まれる水素原子の数に強く影響を受けることを明らかになった。今回の研究では、ビーム験とともに第一原理計算を行い、透明電極材料のエッチングにおける水素効果を定量的に評価した。