[13p-B8-1~10] 古くて新しい点欠陥　～材料を越えた視点から見えてくるもの～

[13p-B8-3] 超高温RTP 技術によるSi ウェーハの点欠陥制御

〇荒木 浩司¹、須藤 治生¹、青木 竜彦¹、前田 進¹ (1.ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)

キーワード：Cz-Si結晶、急速昇降温熱処理、点欠陥