[13p-P4-1~4] 7.5 イオンビーム一般

[13p-P4-4] ClF₃中性クラスタービームによる斜めピラー構造の作成

〇瀬木 利夫¹、荘所 正²、小池 国彦²、山本 洋揮³、古澤 孝弘³、青木 学聡¹、松尾 二郎¹ (1.京大院工、2.岩谷産業、3.阪大産研)

キーワード：クラスター、中性ビーム、エッチング