[14p-A31-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [14p-A31-6] 反応性スパッタ法によるTiO₂/WO₃積層系可視光応答型光触媒の成膜

〇谷山 謙太¹、宮澤 七海¹、賈 軍軍¹、伊村 正明²、金井 敏正²、重里 有三¹ (1.青学大理工、2.日本電気硝子)

キーワード：光触媒、反応性スパッタ、白金ナノ粒子

現在、可視光応答型光触媒に関する研究においてWO3が注目されているが、光触媒活性および耐候性がTiO2と比較すると低い。そのため、WO3光触媒はさらに高い可視光応答性と、耐候性が求められている。そこで本研究ではさらなる光触媒活性および耐候性の向上を目指してTiO2/WO3積層膜を作製し、またその積層膜に助触媒として白金を担持し、可視光照射時における光誘起超親水性ならびにアセトアルデヒド分解活性について解析した。