[14p-A31-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-A31-5] 反応性スパッタ法によるTiO₂薄膜の結晶構造制御 (2);
Nb, Nドープによるアナターゼの選択成長

〇西山 碩芳¹、賈 軍軍¹、中村 新一¹、岡島 敏浩²、伊村 正明³、金井 敏正³、重里 有三¹ (1.青学大理工、2.九州シンクロトロン光研究センター、3.日本電気硝子)

キーワード：酸化チタン