[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [15p-P6-12] 水蒸気添加ArガスRFプラズマを用いたグラファイト被覆磁気ナノ微粒子のカルボキシル基修飾とその定量的評価

〇大村 拓也¹、アンチュ ヴィスワン²、永津 雅章² (1.静大総合科技研、2.静大創造科技院)

キーワード：プラズマ、カルボキシル基