[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[15p-P6-7] ITOマグネトロンスパッタにおける酸素負イオンフラックス評価

〇巣山 拓¹、Bae Hansin¹、瀬高 健太¹、笹井 建典¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：プラズマ、スパッタ