[16a-A31-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16a-A31-4] 固体リチウムイオン電解質薄膜を用いたSrTiO₃電気二重層トランジスタ

〇佐藤 洋平¹、大西 剛²、上野 和紀¹ (1.東大院総合、2.物材機構)

キーワード：電気二重層トランジスタ、リチウムイオン電解質

電気二重層トランジスタ(EDLT)はチャネルのキャリア濃度を大きく変調できる特徴を持つが、EDLTの電解液を固体電解質に置き換える事で、全固体化が可能となる。全固体EDLTでは、薄膜の固体電解質を用いてイオン移動距離を短くする事でスイッチング速度を向上させることが出来ると期待される。本研究では非晶質Li3PO4を用いたEDLTを作製しスイッチング特性を評価したので報告する。