16:15 〜 16:45 [21p-S222-6] 常圧非平衡プラズマを用いた新規な酸化物薄膜の化学気相成長プロセス 〇藤村 紀文1、野瀬 幸則1、木口 拓也1、上原 剛2、吉村 武1、芦田 淳1 (1.大阪府立大 工、2.積水化学工業㈱ R&D)