16:00 〜 16:15 △ [20p-H101-11] 広温度範囲にわたる4H-SiC熱酸化反応の面方位依存性の検証 〇(M2)永井 大介1、染谷 満1,2、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工、2.富士電機)