16:00 〜 18:00 [19p-P12-27] 硬X線光電子分光法を用いたa-IGZO/SiOx保護膜界面の電子状態評価 〇森田 晋也1、越智 元隆1、林 和志1、釘宮 敏洋1 (1.神戸製鋼所)