15:30 〜 15:45 △ [20p-S221-8] ZrO2/Al2O3/ZrO2スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおけるリーク電流特性の改善 〇(B)女屋 崇1,2、生田目 俊秀2、澤田 朋実2、栗島 一徳1,2、大井 暁彦2、知京 豊裕2、小椋 厚志1 (1.明治大学、2.物材機構 WPI-MANA)