13:30 〜 13:45 [22p-H103-3] ガルバノ走査型PLD装置の開発とターゲットの打ち分けによる2元組成薄膜の高速成膜 〇丸山 伸伍1、山王堂 尚輝1、原田 龍馬1、松本 祐司1 (1.東北大院工)