2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2016年3月19日(土) 16:00 〜 18:00 P12 (屋内運動場)

16:00 〜 18:00

[19p-P12-9] β-Ga2O3(010)基板上へのGa照射

中田 義昭1、佐々木 公平2、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、東脇 正高1 (1.情通機構、2.タムラ製作所)

キーワード:酸化ガリウム、分子線結晶成長