[19p-S223-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [19p-S223-5] 走査型非線形誘電率顕微鏡を用いたdC/dVとdC/dz測定によるキャリア濃度の定量化に関する研究

〇劉 彬¹、平永 良臣¹、茅根 慎通¹、長 康雄¹ (1.東北大学)

キーワード：キャリア濃度プロファイル、走査型プローブ顕微鏡法、走査型非線形誘電率顕微鏡法