[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-W621-6] H₂/ArプラズマによるITOエッチングに対する水素変質層の効果

〇平田 瑛子¹、深沢 正永¹、重歳 卓志¹、岡本 正喜¹、長畑 和典¹、李 虎²、浜口 智志²、辰巳 哲也¹ (1.ソニー、2.阪大院工)

キーワード：プラズマエッチング、透明導電膜