[20a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P1-4] 強誘電体インクジェット成膜に用いる吐出液の検討

松岡 勇汰¹、〇山口 正樹^1,2、増田 陽一郎³ (1.芝浦工大工、2.芝浦工大RCGI、3.八戸工大工)

キーワード：インクジェット法、液滴

マスクレスによる薄膜パターンの形成は，強誘電体材料の応用において魅力的である．現在までに我々は，アルコール系溶液を用いたインクジェット成膜と，溶液の安定性改善を行ってきた．今回は溶液粘度の温度依存性に関する検討を行い，あわせて吐出電圧波形と飛翔液滴形状との関係についても評価を行った．