[20a-S423-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-S423-7] マイクロ流路を用いた微細素子のアレイ化

〇(M1)岡田 義之¹、川合 健太郎¹、有馬 健太¹、森田 瑞穂¹ (1.阪大院工)

キーワード：マイクロ流路

フレキシブルディスプレイ実現のため、薄膜トランジスタ(TFT)を単結晶シリコン基板で作製し、ディスクリート化してフレキシブル基板上に整列する手法が提案されている。我々はマイクロ流路を用いて、35μmの立方体微細素子を125μm間隔で角度を揃えてアレイ化することに成功した。今後素子の上下を制御することでTFTの配列に応用できると考えている。