[20a-S423-1~9] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /MEMS/Integration technology

[20a-S423-6] Development of a Cryogenic Deformable Mirror for Wave Front Correction Applicable to Space Infrared Telescopes : About Demonstration

〇(M2)Aoi Takahashi¹, Keigo Enya², Kanae Haze², Paul Bierden³, Steven Cornelissen³, Charlie Lam³, Michael Feinberg³ (1.SOKENDAI, 2.JAXA/ISAS, 3.BMC)

Keywords:Deformable Mirror,MEMS,space telescope

スペース赤外線望遠鏡では、形状誤差を持つ鏡面で反射された光に波面誤差が発生し、結像性能が悪化する。そこで我々は小型の可変形鏡（DM）を光学系に追加し打ち上げ後に軌道上で波面補正をすることを提案している。ただし、従来のDMはスペース赤外線望遠鏡の冷却温度下では使えないため、我々は特別な基板設計を持つ1024素子の静電MEMS式DMを開発した。本講演では、極低温(〜5K)での使用を想定した動作実証実験について述べる。