[20a-S423-1~9] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /MEMS/Integration technology

[20a-S423-5] The Design of High Efficiency Electret-MEMS Transformer

〇Masato Suzuki¹, Takashi Moriyama¹, Hashiguchi Gen¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:Transformer,Micro Electro Mechanical System,Electret

これまでに3端子櫛歯構造のMEMSにカリウムを混入したSiO₂エレクトレット膜を組み合わせ、静電型の変圧器を製作し入力電圧が昇圧することを確認した。
今回は、3端子櫛歯構造の動作行列表現から昇圧率、効率などの式を導出し、高効率で変圧可能なデバイスの設計を行った。その結果、共振周波数においてほぼ100%の変圧が可能であるという結果を得た。また、実際にデバイスを製作しその評価結果についても講演する予定。