[21a-W541-1~12] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[21a-W541-6] フォトキャパシタンス測定によるGaN中のプラズマ照射誘起欠陥の評価

折茂 力都¹、大西 健太¹、〇中村 成志¹、奥村 次徳¹ (1.首都大理工)

キーワード：フォトキャパシタンス、光イオン化断面積