2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

2016年3月21日(月) 13:15 〜 19:00 H137 (本館)

根尾 陽一郎(静岡大)、中原 仁(名大)、後藤 康仁(京大)

17:45 〜 18:00

[21p-H137-18] 電子ビーム照射された絶縁体試料表面電位分布のワーキングディスタンスと印加バイアス依存性

〇(M1)東海 昌司1、河本 拓也1、小寺 正敏1 (1.大阪工大)

キーワード:走査電子顕微鏡、電子ビーム