[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-19] 走査電子顕微鏡内のフォギング電子電流の測定

〇(M1)野田 拓^1,2、萩原 佳史¹、小寺 正敏¹、Raynald Gauvin² (1.大阪工業大学、2.マギル大学)

キーワード：走査電子顕微鏡、電子ビーム