[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-P17-17] 積層メタル構造を用いたMEMS加速度センサのストッパーのロバスト性検討

〇小西 敏文¹、山根 大輔^2,4、佐布 晃昭¹、年吉 洋^3,4、曽根 正人^2,4、益 一哉^2,4、町田 克之^1,2,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS加速度センサ、ストッパー、ロバスト性