[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [21p-P17-21] マイクロ圧縮試験による金/チタン積層構造の機械的特性評価

〇石塚 陽大^1,2、柳田 佐理^1,2、Chang Tso-Fu Mark^1,2、Chen Chun-Yi^1,2、小西 敏文³、町田 克之^1,2,3、年吉 洋^1,4、山根 大輔^1,2、益 一哉^1,2、曽根 正人^1,2 (1.東工大、2.JST-CREST、3.NTT AT、4.東大)

キーワード：MEMS、電解めっき、金