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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[22p-H103-1~8] 6.4 薄膜新材料

2016年3月22日(火) 13:00 〜 15:00 H103 (本館)

篠田健太郎(産総研)

13:30 〜 13:45

[22p-H103-3] ガルバノ走査型PLD装置の開発とターゲットの打ち分けによる2元組成薄膜の高速成膜

〇丸山伸伍¹、山王堂尚輝¹、原田龍馬¹、松本祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：パルスレーザ堆積、ガルバノミラー走査

　　　