16:00 〜 18:00 [6p-PA8-16] Si基板上縦型GaN p-nダイオードにおける電気的特性のSLSバッファ層膜厚依存性 〇中村 圭輔1、浜田 武明1、間瀬 駿1、江川 孝志1 (1.名工大院)