09:30 〜 11:30 [7a-PA6-11] 圧電MEMS振動発電向け非鉛BiFeO3膜のNLDドライエッチング 〇村上 修一1、佐藤 和郎1、荒牧 正明2、吉村 武2、藤村 紀文2 (1.大阪技術研、2.阪府大院工)