15:00 〜 15:15 [5p-A204-4] RTPウェーハにおける酸素析出モデルの検討 〇岡村 秀幸1、須藤 治生1、中村 浩三3、前田 進1、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)