14:30 〜 14:45 [7p-A204-6] スパッタ成膜SrTa2O6 High-k薄膜の電気的特性評価とラフネス制御 髙橋 崇典1、宝賀 剛1、安井 寛治2、浦岡 行治3、〇内山 潔1 (1.鶴岡高専、2.長岡技科大、3.奈良先端大)