16:00 〜 18:00 [6p-PA8-13] 低濃度p型GaN層におけるSBD特性の評価検討 〇松山 秀昭1、上野 勝典1、高島 信也1、田中 亮1、山田 永2、清水 三聡2、江戸 雅晴1 (1.富士電機、2.産総研)