10:45 〜 11:00 △ [7a-A402-7] ハイドロフルオロカーボンガスプラズマ活性種と絶縁膜エッチング特性に関する研究(2) 〇武田 直己1、張 彦1、林 俊雄1、関根 誠1、近藤 博基1、石川 健治1、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構)