[7a-A402-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [7a-A402-7] ハイドロフルオロカーボンガスプラズマ活性種と絶縁膜エッチング特性に関する研究(2)

〇武田 直己¹、張 彦¹、林 俊雄¹、関根 誠¹、近藤 博基¹、石川 健治¹、堀 勝² (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構)

キーワード：プラズマ、絶縁膜エッチング

従来のプロセスガスとは異なりGWPが非常に低い冷媒代替ガスであるHFO-1234zeを用いて、絶縁膜のエッチング特性を評価した。講演では、プラズマ中のイオン種、電子密度など様々な結果から反応機構を考察する。