09:30 〜 11:30 [8a-PB4-19] 短ギャップRFマグネトロンスパッタを用いたGa添加ZnOの成膜 〇松田 良信1、坂本 康平1、松尾 直樹1、古里 友宏1、山下 敬彦1 (1.長崎大院工)