[6p-PA8-1~31] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[6p-PA8-30] p型伝導酸化イリジウム薄膜の厚膜化とその電気特性

〇竹本 柊¹、韓 欣一¹、金子 健太郎^1,2、人羅 俊実²、藤田 静雄¹ (1.京大院工、2.株式会社FLOSFIA)

キーワード：酸化イリジウム、酸化ガリウム