[7a-S45-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[7a-S45-4] 光スタンプレーザー転写法による膜の付加形成

〇奈良崎 愛子¹、佐藤 正健¹ (1.産総研)

キーワード：レーザー転写、付加形成

「光スタンプレーザー転写法」を新たに提案、金属・酸化物膜を常温常圧下で微細パターン付加形成する手法を開発したので報告する。