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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[7p-A402-1~6] 8.4 プラズマエッチング

2017年9月7日(木) 13:15 〜 14:45 A402 (402+403)

辰巳哲也(ソニー)

13:45 〜 14:00

[7p-A402-3] O₂/Arプラズマを用いたTPCOのエッチング特性

〇村上周弥¹、山下脩介¹、米田慎也¹、高橋和生¹、山雄健史¹ (1.京都工芸繊維大学)

キーワード：エッチング、TPCO