2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2017年9月8日(金) 09:30 〜 11:30 PB4 (国際センター2F)

09:30 〜 11:30

[8a-PB4-18] プラズマ支援パルスDCマグネトロンスパッタリングによる結晶化窒化アルミニウム薄膜の低温形成

竹中 弘祐1、佐竹 義旦1、内田 儀一郎1、節原 裕一1 (1.阪大接合研)

キーワード:窒化アルミニウム