[8p-PA1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[8p-PA1-16] 3価の元素を置換したTiO_2-dスパッタ薄膜の構造・電気特性

川口 拓哉¹、関根 正貴¹、簑原 誠人²、堀場 弘司²、組頭 広志²、〇樋口 透¹ (1.東理大理、2.高エネ研)

キーワード：酸化物半導体

Fe³⁺やSc³⁺-doped TiO₂薄膜をスパッタ法により作製し，構造・電気特性の評価した。伝導度の酸素分圧依存性や電子構造の結果から、中高温域でp型伝導性を示すことを明らかにした。