13:30 〜 15:30 [8p-PA1-16] 3価の元素を置換したTiO2-dスパッタ薄膜の構造・電気特性 川口 拓哉1、関根 正貴1、簑原 誠人2、堀場 弘司2、組頭 広志2、〇樋口 透1 (1.東理大理、2.高エネ研)