[8p-PA1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [8p-PA1-17] ミストCVD法を利用した透明導電性酸化物エピタキシャル薄膜の作製

〇丹羽 泰之¹、菅 大介¹、島川 祐一¹ (1.京大化研)

キーワード：透明導電性酸化物