09:15 〜 09:30 [17a-E206-2] [講演奨励賞受賞記念講演] 非晶質Zr-Ge-N層上への金属堆積による低抵抗Geコンタクトの形成 〇岡本 隼人1、山本 圭介1、王 冬1、中島 寛2 (1.九大・大学院総合理工学府/研究院、2.九大・グローバルイノベーションセンター)