09:30 〜 11:30 [16a-P4-2] DLTS測定によるGaN基板上MOCVDp++p-n+GaNのトラップ評価 〇(B)小木曽 達也1、上田 聖悟1、徳田 豊1、成田 哲生2、富田 一義2、加地 徹3 (1.愛知工大、2.豊田中央研究所、3.名古屋大学)