17:00 〜 17:15 [15p-311-14] CAPD法を用いたAlBN薄膜の成長とハードコーティングへの応用 〇吉田 智博1、村澤 功基2、吉武 剛3 (1.福岡県工技センター、2.オーエスジー株式会社、3.九大院総理工)