09:15 〜 09:30 [17a-313-2] フルオロカーボンプラズマを用いたエッチングプロセスにおけるSi基板上の微結晶形成 〇(M1)黒田 源斗1、高橋 和生1、西尾 弘司1 (1.京都工繊大)