11:15 〜 11:30 [17a-E206-10] FLAを用いたサブナノメートルオーダーの拡散制御 〇谷村 英昭1、河原崎 光1、布施 和彦1、阿部 誠1、青山 敬幸1、加藤 慎一1、小林 一平1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)