09:30 〜 11:30 [16a-P4-19] Si基板上AlNの縦方向リーク電流とAlN層中転位種の関係 〇山岡 優哉1,2、各務 憲2、生方 映徳1、矢野 良樹1、田渕 俊也1、松本 功1、江川 孝志2 (1.大陽日酸、2.名工大)